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AS4212摩天輪固晶機

卓興大尺寸高精度固晶機AS4212,角度可調,適應不同尺寸基板,高耐用性,可選配晶圓環自動校正,可選配自動換環組件,提升固晶效率。大尺寸高精度固晶機智選卓興。

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產品介紹

專利技術   行業首創

超大尺寸:500 x 840


特點:

1.  超大基板尺寸,可實現無縫生產;

2.   多工位固晶,芯片發光層損傷檢測;

3.   邦頭角度實時校正及壓力控制;

4.   采用大理石機臺具有更高的穩定性;

5.   采用直線電機模組具有更高的耐用性;

6.   具備真空漏晶檢測和吸嘴防堵設計;

7.   真空固晶平臺和表面平整度修正設計;

8.   高亮自動矯正,采用并聯式連線 ;

9.   可選配自動換環組件,提升固晶效率;

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序號

模塊

項目

參數

1

系統性能

貼合精度

位置精度:<±15 um

最小角度誤差:<2o

生產周期

30K/H@1.0pitch

2

固晶工作臺

固晶范圍

500 mm * 840 mm(標準)

3

晶圓工作臺

晶片大小

3*5 mil ~ 20*20 mil

晶圓環

9個晶圓環/6 寸(標準)

其他尺寸(定制)

4

固晶方式

轉塔

6工位旋轉固晶

固晶壓力

40~250 克(可調)

5

體積

設備尺寸(mm)

L1650* W1830 * H1620


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